流量传感器模块, 流量计, 液体和气体

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IDT 的高性能流量传感器(流量计)模块产品系列测量气流或液流。创新的固态传感器元件设计消除了在同类竞争产品中常见的空腔和隔膜,特有保护性的碳化硅涂层,使其有利于打造极为稳健可靠且符合食品级应用要求的流体传感器元件。

IDT 提供未校准的单独流体传感器模块以及完全校准的模块,未校准的单独流体传感器模块具有模拟输出,而完全校准的模块具有适合在复杂数字系统中实现即插即用的板载数模转换和温度补偿电路。经校准的流体传感器模块提供精确度高达读数 ±2% 的气体或液体测量。

先进的流体传感器技术

IDT 的流量传感器运用热传递(测热式)原则来测量通过感测面的气流或液流。流量传感器采用了一系列提供极佳信噪比的 MEMS 热耦合(温差电堆)。主动式 MEMS 传感元件以及具有牢靠热隔离效果的碳化硅薄膜涂层可提供极佳的耐磨性和长期可靠性。

该设计既没有移动的组件,也没有空腔上脆弱的隔膜,它消除了阻塞的传感器元件和流体压力敏感性,并提供了极佳的耐冲击性。此外,碳化硅涂层还能防止化学品损坏传感器元件。凭借这些技术优势,IDT 的解决方案深受工业、医药和具有 FDA 合规要求的食品级消费型应用的青睐,在这些应用中,稳定性、可靠性以及交叉污染都是重要因素。

关于液体和气体流体质量流传感器

流量传感器也称作流量计,它用于测量流经模块上预先确定截面区域的流速和最终总量。这些测量在范围广泛的应用中最为关键,包括饮料配置器、静脉滴注监视器、氧气检测仪、空气流量传感器以及工艺设备中的气流监测器。

IDT 的基于 MEMS 的气流计模块和液流计模块包含电阻加热器以及两个热耦合群集(温差电堆),每个群集均对称分布在加热器的上游和下游。温差电堆的输出随流速变化;与从加热器检测到的热量成比例。温差电堆的模拟输出通常会转化为可供系统处理器使用的校准数字输出信号。